Dobavljač ciljanog raspršivanja volframa
Uobičajene vrste metalnih meta su sljedeće:
Konvencionalne metalne mete: magnezijum Mg, mangan Mn, gvožđe Fe, kobalt Co, nikl Ni, bakar Cu, cink Zn, olovo Pd, kalaj Sn, aluminijum Al
Male metalne mete: Indijum, Germanijum Ge, Galij Ga, Antimon Sb, Bizmut Bi, Kadmijum Cd
Vatrostalni metalni ciljni materijali Titan Ti, Cirkonij Zr, Hafnij Hf, Vanadij V, Niobij Nb, Tantal Ta, Krom Cr, Molibden Mo, Volfram W, Renij Re
Proizvodnja mete za raspršivanje volframa
Mete od plemenitih metala: zlato Au, srebro Ag, paladijum Pd, platina Pt, iridijum Ir, rutenijum Ru, rodijum Rh, osmijum Os
Polumetalne mete: ugljenik C, bor B, telur Te, selen Se
Rijetki zemni metal cilja gadolinijum Gd, samarijum Sm, disprozijum Dy, cerij Ce, itrijum Y, lantan La, itbijum Yb, erbijum Er, terbijum Tb, holmijum Ho, tulij Tm, neodimijum Nd, prazeodijum Euu Pr, lutetij Sc
Keramička meta aluminijum cink oksid AZO, indijum kalaj oksid ITO, cink oksid ZnO, aluminijum nitrid AlN, titanijum nitrid TiN, bor nitrid BN, barijum titanat BaTiO3, bizmut titanat BiTiO3, silicijum karbid titanijum titanat, bide WC, litijum niobat LiNbO3
Cilj za raspršivanje volframa factpry
Mete legure uključuju leguru zlato-kalaj AuSn, legura zlata-germanijum-nikl AuGeNi, legura cink-aluminijum ZnAl, legura aluminijum-bakar AlCu, legura kobalt-gvožđe-bor CoFeB, legura gvožđa-mangana FeMn, iridijum-mangan iridij-mangan, sve -titan legura ZrTi, legura nikl-hrom NiCr, legura bakra indij galijuma CuInGa, bakar cink i kositar legura sumpora CZTS
